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♦ 주사 전자 현미경으로 관찰하고자 하는 시료 표본 준비 및 다른 코팅 응용에 적합한 다목적 소형 로터리 펌프 코팅 시스템. 코팅 데이터는 풀 자동 터치스크린 방식으로 빠르게 입력되며 코팅 타겟에 따른 적합한 프로토콜이 터치스크린에 미리 설정되어 사용자가 장비를 빠르고 쉽게 사용할 수 있음.
♦ Carbon 실을 교환하며 사용.
FE-SEM 관찰을 위한 전처리로서 Carbon을 이용한 샘플코팅
사용자 인터페이스
풀 자동 터치스크린 방식
시료 스테이지
50mm ¢ rotating stage
최대 진공
2 x 10-3 mbar
스퍼터 타겟
C5421 Carbon fibre cord(1m)
스퍼터 진공 범위
3 x 10-2 와 5 x 10-1 mbar 사이
6,000원/회
8,400원/회
12,000원/회